Die Kompetenzen im Bereich Mikrowellen- und Plasmatechnologie gehen weit über reine Prozesstechnik hinaus und umfassen Entwicklungen von Anlagen- und Messtechniken, ergänzt durch numerische Simulationen des elektromagnetischen Feldes und die daraus resultierende Erwärmung oder Plasmabildung. Besonderes Augenmerk liegt im reproduzierbaren und kontrollierbaren Einsatz der Mikrowellen. Mit Mikrowellen generierte Plasmen dienen zur Reinigung, Modifikation oder Beschichtung von Oberflächen (PECVD).

Plasmaline mit Magnet, konzentriertes Plasma
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Plasmaline mit Magnet, konzentriertes Plasma