Die Kompetenzen der Arbeitsgruppe Mikrowellen- und Plasmatechnologie gehen weit über reine Prozesstechnik hinaus und umfassen Entwicklungen von Anlagen- und Messtechniken, ergänzt durch numerische Simulationen des elektromagnetischen Feldes und die daraus resultierende Erwärmung oder Plasmabildung. Besonderes Augenmerk liegt im reproduzierbaren und kontrollierbaren Einsatz der Mikrowellen: Mit Mikrowellen generierte Plasmen dienen zur Reinigung, Modifikation oder Beschichtung von Oberflächen (PECVD).